可以為那些不能直接向大氣排氣的另外的泵提供所必需的前級壓強的泵稱為前級泵。其中,有一些泵能以兩種方式工作,有時排入大氣,有時排入減壓的前級壓強中。
概述
將氣體從低壓強區(qū)域輸送至大氣壓的抽氣裝置可以分為三種主要類型:
(a)氣體的輸運是通過一級或多級壓縮來實現(xiàn)。
(b)通過動量轉(zhuǎn)移輸運氣體。
(c)氣體吸附在低溫表面上,而后再加熱,再生出來。
機械真空泵是第一類泵的代表,而噴射泵和吸附泵是第二類泵和第三類泵的代表。
工作壓強區(qū)域
雖然圖1所示的各種類型的泵都能對大氣排氣,但它們的有效工作區(qū)城的變化取決于其工作原理。如果不用密封液,就不能保持高壓縮比,機械間隙不可能做得小到足以有效地阻止二次膨脹或返流。沒有密封液的泵很適于在大氣壓附近工作。由于壓縮熱難于散掉,一些干式機械泵,尤其羅茨泵和千式螺旋壓縮機的低壓強工作受到限制。這些泵最好在30OTorr以上工作。若使用如碳、石墨化鑄鐵以及高溫下合成的材料,那么,由于這些材料的自潤滑性能,可將干式旋片泵的工作區(qū)域延伸到150Torr,在同樣的壓強區(qū)域,也可以有效地利用液環(huán)泵、往復(fù)式活塞泵以及效率較低的噴射泵。若用雙級液環(huán)泵、無閥多片泵、雙級往復(fù)式活塞泵、液體噴射泵以及雙級蒸汽噴射泵,甚至可將壓強區(qū)域延伸至大約30Torr.當工作壓強進一步降低時,比較簡單的泵可能不再適用了,必須用多級旋轉(zhuǎn)油封泵,并選擇低蒸汽壓的密封液。單級泵的有效工作壓強區(qū)城主要是由于油污染影響,因而將其限制到0.lTorr。由于同樣的影響,雙級油封泵的低壓工作限,稍低于10mTorr。約為1mTorr的油蒸氣壓弧使前級接雙級油封泵(在有效抽速下)的羅茨泵不能在10-6Torr區(qū)域內(nèi)工作。對低于1mTorr的抽氣,用其他抽氣設(shè)備,如擴散泵、離子泵等更有效。就用機械的抽氣而論,這區(qū)域最好使用渦輪分子泵。
當對小容器抽氣時,在類似于雙級油封泵工作的壓強區(qū)域內(nèi)可以單獨地或順序地使用吸附泵,這樣就不存在油或蒸汽的污染問題。
因為油封式機械泵適用的壓強區(qū)城寬,并且堅固、簡單、可榨使用方便,因此廣泛地用在實驗室工作中。
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